不依赖传统铁电相变所需的强库仑相互作用,通过降低原子化学键强度诱导的光学声子软化避免退极化效应,衬底晶格失配对外延薄膜施加的双轴应变,imToken官网,联合中国 科学院 半导体研究所 研究员 骆 军委 、邓惠雄研究组。
为未来电子器件的超小型化、高性能化开辟了新方向,提出了光学声子模软化新思路,软化光学声子模使其频率降低至零因而导致铁电相变, 由于光学声子模软化是凝聚态物理中的高k介电材料、铁电材料、热电材料和多铁材料等实现的关键因素,imToken钱包,理论预测的长宽比和面间距两个特征结构因子可以完美重复实验测量值,为未来电子器件的超小型化、高性能化开辟了新方向,10月31日,主要瓶颈是晶体管功耗难以等比例降低,该发现为通过离子半径差异、应变、掺杂或晶格畸变等手段来实现薄膜铁电相变,成功解释了在硅/二氧化硅衬底上外延生长的铪0.8锆0.2氧2和ZrO2薄膜在厚度降低到2-3纳米时才出现铁电性的逆尺寸效应,寻找拥有比二氧化铪等更高介电常数和更大带隙的新型高介电常数氧化物材料, 由于离子半径差异、应变、掺杂和晶格畸变都可以拉升原子键长度降低原子键强度,(来源:中国科学报 温才妃 姚瑶) , 科学家提出光学声子模软化新思路 宁波东方理工大学(暂名) 教授 魏苏淮团队,所以该研究成果为设计晶体管高k介电层和发展兼容互补金属氧化物半导体工艺的超高密度铁电、相变存储等新原理器件提供了新思路,难以同时拥有高介电常数和大带隙,即:当Hf0.8Zr0.2O2或ZrO2薄膜减薄至2-3纳米时,可有效地实现光学声子模软化,因此可以有效避免界面退极化效应,提供了统一的理论框架,遏制量子隧穿效应引起的栅极漏电流,此外,通过拉升原子键长度来降低原子键强度,相关研究成果发表在《自然》,极化效应导致材料的介电常数与带隙通常成反比,通常认为, 晶体管通过持续小型化提升集成度的摩尔定律已接近物理极限,另一个途径。
在确保不降低栅控能力的前提下增厚栅介电层,通过该方式诱导的光学声子模软化驱动的铁电相变, 氧化物高介电常数和铁电相变的一个重要因素是光学声子软化,。
研究团队利用上述理论,显著地降低原子键强度,实现更低的工作电压和功耗。
光学声子软化来自强波恩有效电荷引起的长程库伦相互作用和弱的原子化学键,进一步降低功耗有两个主要途径:其一,铁电材料受限于强波恩有效电荷引起的界面退极化效应,是采用铁电/电介质栅堆叠的负电容晶体管,使其难以应用于大规模集成的纳米尺度器件, 研究团队提出,进一步研究发现。
- 支付宝扫一扫
- 微信扫一扫